Laboratorium podstaw mikroelektroniki

Abstract

W instrukcji znajduje się opis ćwiczeń wykonywanych w laboratorium podstaw mikroelektroniki w Katedrze Mikroelektroniki i Technik Informatycznych Politechniki Łódzkiej. Zawiera ona ponadto opis programu Microwind stanowiącego pomoc dydaktyczną do praktycznej nauki projektowania układów scalonych CMOS wielkiej skali integracji oraz programu 30 pozwalającego na trójwymiarową wizualizację poszczególnych etapów produkcji układów scalonych. Program Microwind pozwala na projektowanie i symulację układów scalonych w zintegrowanym środowisku. Ekstrakcja układu połączeń elektrycznych na podstawie topografii jest wykonywana w sposób automatyczny. Symulator układów elektronicznych jest wbudowany w program. Program Microwind umożliwia również porównanie otrzymanych eksperymentalnie charakterystyk tranzystorów unipolarnych z modelami symulacyjnymi. Możliwa jest także wymiana danych z programami Cadence, Mentor i PSPICE. Pliki technologiczne zawierają reguły projektowania (DRC - Design Rule Checker) i modele symulacyjne dla wielu technologii o wymiarach charakterystycznych od 1.2 μm do 50 nm. Zestaw programów jest standardem nauczania podstaw mikroelektroniki stosowanym w kilkuset ośrodkach akademickich na świecie. Opis dotyczy wersji programu 2.6k.